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J-GLOBAL ID：201702234467945829   整理番号：17A0649164

マイクロチャネル内面に作成したシリコン添加DLC膜の膜構造と機械的特性

著者 (3件)： 北村観樹 (東大 大学院) ,  平田祐樹 (東京理大) ,  CHOI Junho (東大)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
巻： 2017  号： 春  ページ： ROMBUNNO.D14  発行年： 2017年05月15日 
JST資料番号： Y0047C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロチャネル ,  *内面 ,  *ケイ素 ,  *DLC膜 ,  膜構造 ,  *機械的性質 ,  薄膜 ,  耐食性 ,  走査電子顕微鏡 ,  *Raman分光分析 ,  膜厚 ,  クラスタ ,  *三次元形状 ,  炭素膜 ,  薄膜形成 ,  *性質
準シソーラス用語： 成膜

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロチャネル ,  シリコン ,  DLC膜 ,  膜構造 ,  機械的特性