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J-GLOBAL ID：201702252790199568   整理番号：17A1141505

フェムト秒レーザー加工によるシリコンフォトニック結晶ナノ共振器の光学特性制御

著者 (6件)： 芦田紘平 (大阪府大 大学院) ,  挾間優治 (東大 物性研) ,  挾間優治 (産業技術総合研) ,  秋山英文 (東大 物性研) ,  秋山英文 (産業技術総合研) ,  高橋和 (大阪府大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.7p-S45-11  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *微小共振器 ,  *フォトニック結晶 ,  *フェムト秒レーザ ,  パルスレーザ照射 ,  *レーザ加工 ,  *ケイ素 ,  *光学的性質 ,  Q値 ,  CMOS構造 ,  細孔 ,  電磁波放射 ,  レーザ出力 ,  赤外スペクトル ,  MOS構造

分類 (5件)： 量子光学一般  (BD04010X) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  半導体の赤外スペクトル及びRaman散乱・Ramanスペクトル  (BM08066B) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザー加工 ,  シリコン ,  フォトニック結晶 ,  ナノ共振器 ,  光学特性