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J-GLOBAL ID：201702289713084645   整理番号：17A0864797

マイクロチャネル内面に成膜した非晶質炭素膜の膜構造と機械的特性

著者 (3件)： 北村観樹 (東大) ,  平田祐樹 (東京理大) ,  CHOI Junho (東大)
資料名： 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 23rd  ページ： ROMBUNNO.OS1502-04  発行年： 2017年03月15日 
JST資料番号： L3954B  ISSN： 2424-2691  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： a-C:H膜は高硬度,耐摩耗性などに優れるため,産業界の幅広い分野で応用されている。一方,複雑形状物への均一なコーティングは従来の成膜手法では困難とされ,特に微細な三次元形状を有する基材へ成膜する技術は未だ確立されていない。そこで本研究では,マイクロチャネルの内面に対してバイポーラPBII&D法によるコーティングを行い,走査型電子顕微鏡やラマン分光分析法を用いて深さ毎の膜厚,膜質の変化を調べた。またプラズマシミュレーションを用いてマイクロスケール下での成膜時のプラズマ挙動を解析した。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロチャネル ,  *内面 ,  構成 ,  非晶質 ,  炭素 ,  薄膜 ,  *膜構造 ,  機械的性質 ,  水素化物 ,  炭素材 ,  耐摩耗性 ,  イオン注入 ,  走査電子顕微鏡 ,  Raman分光分析 ,  炭素膜 ,  *水素化アモルファス炭素 ,  *薄膜形成 ,  性質 ,  耐性
準シソーラス用語： *成膜 ,  機械的特性 ,  PBII法【プラズマ】 ,  走査型電子顕微鏡

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロチャネル ,  成膜 ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  膜構造 ,  機械的特性