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J-GLOBAL ID：201702291125837432   整理番号：17A1365377

曲げ応力下でのボロン添加シリコンウェーハの原子空孔軌道の研究

著者 (5件)： 坂井隼人 (新潟大 大学院) ,  赤津光洋 (新潟大 理) ,  三本啓輔 (新潟大 大学院) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 72  号： 2  ページ： ROMBUNNO.23aPS-112  発行年： 2017年09月25日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  *空孔欠陥 ,  ホウ素 ,  曲げ応力 ,  *弾性係数 ,  温度依存性 ,  弾性表面波 ,  *原子空孔

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 曲げ応力 ,  ボロン ,  シリコンウェーハ ,  原子空孔 ,  軌道 ,  研究