熱流束センサおよびその較正方法、被測定物の異常検知方法並びにエンジンの動作異常検知方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 棚井澄雄 , 高橋詔男 , 五十嵐光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-209118
公開番号（公開出願番号）：特開2017-083206
出願日： 2015年10月23日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
要約：

【課題】被測定物の熱流束を精度良く検出することができる熱流束センサおよびその較正方法、被測定物の異常検知方法並びにエンジンの動作異常検知方法を提供する。【解決手段】熱流束センサ1は、基板10と、基板10側から絶縁層21、抵抗体層22、および保護層23がこの順で積層された積層構造体20とを備える。熱流束センサ1は、抵抗体層22に設けられた抵抗体25の抵抗値に基づいて、熱流束を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板側から絶縁層、抵抗体層、および保護層がこの順で積層された積層構造体と、を備え、前記抵抗体層に抵抗体が設けられており、前記抵抗体の抵抗値に基づいて、熱流束を求めることを特徴とする熱流束センサ。

IPC (2件)：

G01N 25/18 , G01K 7/00

FI (2件)：

G01N25/18 E , G01K7/00 381D

Fターム (10件)：

2G040AB08 , 2G040BA14 , 2G040BA25 , 2G040CA02 , 2G040CA13 , 2G040CA22 , 2G040DA02 , 2G040DA12 , 2G040HA16 , 2G040ZA07

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-201224
特開平2-171626
熱式流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-221094 出願人：株式会社日立製作所

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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