特許
J-GLOBAL ID:201703011501710806
計測装置、方法及びプログラム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-062977
公開番号(公開出願番号):特開2014-186010
特許番号:特許第6104662号
出願日: 2013年03月25日
公開日(公表日): 2014年10月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 周期性のある第1パタンと第1模様とが重畳され、前記第1パタンの周期毎に前記第1模様が少なくとも1つ配置された重畳パタンが投影されている対象を撮影した画像内の前記第1模様と投影に用いた前記第1模様とのマッチングを行い、前記マッチングの結果及び投影に用いた前記第1パタンの第1位相値を用いて、前記画像内の前記第1パタンの第2位相値を算出し、前記第1位相値及び前記第2位相値を用いて、前記画像内の前記第1パタンと投影に用いた前記第1パタンとの対応を算出する第1算出部と、
前記対応から、位相シフト法を用いて、前記対象の3次元形状を計測する第2算出部と、
を備える計測装置。
IPC (1件):
FI (1件):
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