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J-GLOBAL ID：201802213227591097   整理番号：18A0632070

急冷凍結したシリコンウェーハ中の高温熱平衡原子空孔の低温超音波法による濃度測定

著者 (4件)： 金田寛 (九州工大 大学院) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  赤津光洋 (新潟大 理) ,  三本啓輔 (新潟大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.18p-D103-14  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超音波応用計測 ,  *空孔欠陥 ,  低温 ,  *濃度測定 ,  *ケイ素 ,  *ウエハ【IC】 ,  半導体 ,  急冷 ,  熱平衡 ,  高温 ,  *熱処理 ,  雰囲気 ,  弾性係数 ,  原子空孔 ,  酸素雰囲気
準シソーラス用語： 弾性定数

分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 急冷 ,  シリコンウェーハ ,  熱平衡 ,  原子空孔 ,  低温 ,  超音波 ,  濃度測定