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J-GLOBAL ID：201802216434172967   整理番号：18A1763730

タンニン酸を基盤とした光機能性材料(UV硬化性樹脂・レジスト)への応用

著者 (2件)： 大堀静也 (関西大 大学院) ,  工藤宏人 (関西大 大学院)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 67  号： 2  ページ： ROMBUNNO.2M16  発行年： 2018年08月29日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光重合型樹脂 ,  *紫外線照射 ,  *フォトレジスト ,  エッチング ,  超分枝重合体 ,  露光 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  ポリメタクリル酸エステル ,  シリコンウエハ ,  *紫外線硬化樹脂
準シソーラス用語： *UV硬化性樹脂 ,  多分岐高分子

分類 (3件)： 重合触媒,重合開始剤  (CG04070V) ,  重合反応一般  (CG04010H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (6件)： タンニン酸 ,  メタクリル酸グリシジル ,  メタクリル酸2-イソシアノエチル ,  メタクリル酸クロリド ,  アクリル酸クロリド ,  ブロモ酢酸2-メチルアダマンタン-2-イル

タイトルに関連する用語 (6件)： タンニン酸 ,  基盤 ,  光機能性材料 ,  UV硬化性樹脂 ,  レジスト ,  応用