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J-GLOBAL ID：201802226910123099   整理番号：18A1857288

超高Q値シリコンフォトニック結晶光ナノ共振器の進展

Progress of ultrahigh-Q optical nanocavities using a silicon photonic crystal

著者 (4件)： 高橋和 (大阪府大 大学院工学研究科) ,  岡野誠 (産業技術総合研) ,  浅野卓 (京大 大学院工学研究科) ,  野田進 (京大 大学院工学研究科)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 87  号： 10  ページ： 749-753  発行年： 2018年10月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2次元フォトニック結晶により実現した高Q値光ナノ共振器は,多くの研究者の興味を惹きつけてきた。中でも,シリコンナノ共振器は,この15年余り,フォトニック結晶共振器の最高Q値を更新し続けたことにより,光エレクトロニクスの枠を越えて応用研究が進められている。現在では,1000万を超えるQ値が達成されているが,近年では,フォトリソグラフィを用いた大口径基板への大量作製においても,Q値200万が安定して得られている。今後は,さらに幅広い分野での利用が見込まれる。本稿では,この数年間になされたシリコン光ナノ共振器の超高Q値化について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： Q値 ,  フォトニック結晶 ,  *光共振器 ,  *ケイ素 ,  半導体 ,  フォトリソグラフィー ,  オプトエレクトロニクス ,  *光ナノ共振器 ,  二次元フォトニック結晶 ,  フォトニック結晶共振器 ,  結晶性シリコン
準シソーラス用語： シリコン結晶

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

引用文献 (23件)：

• S. Noda, A. Chutinan, and M. Imada: Nature (London) 407, 608 (2000).
• Y. Akahane, T. Asano, B.-S. Song, and S. Noda: Appl. Phys. Lett. 83, 1512 (2003).
• Y. Akahane, T. Asano, B.S. Song, and S. Noda: Nature (London) 425, 944 (2003).
• B.S. Song, S. Noda, T. Asano, and Y. Akahane: Nat. Mater. 4, 207 (2005).
• Y. Takahashi, H. Hagino, Y. Tanaka, B.S. Song, T. Asano, and S. Noda: Opt. Express 15, 17206 (2007).

タイトルに関連する用語 (5件)： Q値 ,  シリコン ,  フォトニック結晶 ,  光ナノ共振器 ,  進展