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J-GLOBAL ID：201802241218824885   整理番号：18A1698797

エアブリッジ構造シリコンフォトニック結晶薄板の裏面観察

著者 (5件)： 田中捺美 (大阪府大 大学院) ,  伊藤隆浩 (大阪府大 大学院) ,  岡野誠 (産業技術総合研) ,  山田浩治 (産業技術総合研) ,  高橋和 (大阪府大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.19p-PA3-4  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ケイ素 ,  *フォトニック結晶 ,  薄板 ,  裏面 ,  中空体 ,  微細構造 ,  表面加工 ,  *表面構造 ,  低次元系 ,  光集積回路 ,  光導波路 ,  微小共振器 ,  半導体プロセス ,  *顕微鏡観察 ,  *構造
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  二次元系

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： エア ,  ブリッジ ,  シリコン ,  フォトニック結晶 ,  薄板 ,  観察