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J-GLOBAL ID：201802260356026519   整理番号：18A1018135

マイクロホール内面へのa-C:H膜の作成

著者 (5件)： CHOI Jjunho (東大 工) ,  大場雅史 (東大 工) ,  北村観樹 (東大 工) ,  平田祐樹 (東京理大 工) ,  佐々木信也 (東京理大 工)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
巻： 2018  号： 春  ページ： ROMBUNNO.A24  発行年： 2018年05月07日 
JST資料番号： Y0047C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *炭素材 ,  非晶質 ,  イオン注入 ,  *物理蒸着 ,  プラズマ ,  エネルギー ,  *ビーム入射 ,  *アモルファスカーボン ,  入射エネルギー
準シソーラス用語： イオンインプランテーション ,  プラズマアシストPVD

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロ ,  ホール