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J-GLOBAL ID：201802268165948575   整理番号：18A1699245

位相シフト電子線ホログラフィーを用いたGaNナノワイヤー内部のドーパント分布の可視化

著者 (10件)： 仲野靖孝 (JFCC) ,  松本実子 (JFCC) ,  穴田智史 (JFCC) ,  山本和生 (JFCC) ,  BAE Si Young (名古屋大) ,  田中敦之 (名古屋大) ,  本田善央 (名古屋大) ,  石川由加里 (JFCC) ,  天野浩 (名古屋大) ,  平山司 (JFCC)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.20a-331-1  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ホログラフィー ,  *窒化ガリウム ,  化合物半導体 ,  ナノワイヤ ,  *ドーパント ,  可視化 ,  濃度分布 ,  電子顕微鏡 ,  ホログラム ,  位相シフト ,  *電子線ホログラフィー
準シソーラス用語： ホログラフィー電子顕微鏡

分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 位相シフト ,  電子線ホログラフィー ,  GaN ,  ナノワイヤー ,  ドーパント ,  分布 ,  可視化