特許
J-GLOBAL ID:201803012243112200

チャンバーアレイの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 新居 広守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-232100
公開番号(公開出願番号):特開2018-085975
出願日: 2016年11月30日
公開日(公表日): 2018年06月07日
要約:
【課題】大面積で高密度のチャンバーアレイを簡便に製造することができるチャンバーアレイの製造方法を提供する。【解決手段】樹脂10に複数のチャンバー12が形成されたチャンバーアレイ1の製造方法であって、基板20上に複数のビーズ22を配置するビーズ配置工程と、基板20および複数のビーズ22上に液状の樹脂10aを配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、硬化後の樹脂10を基板20から剥離する剥離工程と、基板20から剥離した樹脂10から複数のビーズ22を除去する除去工程とを含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
樹脂に複数のチャンバーが形成されたチャンバーアレイの製造方法であって、 基板上に複数のビーズを配置するビーズ配置工程と、 前記基板および前記複数のビーズ上に液状の前記樹脂を配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、 硬化後の前記樹脂を前記基板から剥離する剥離工程と、 前記基板から剥離した前記樹脂から前記複数のビーズを除去する除去工程とを含む チャンバーアレイの製造方法。
IPC (1件):
C12M 1/00
FI (1件):
C12M1/00 A
Fターム (4件):
4B029AA08 ,  4B029BB01 ,  4B029CC02 ,  4B029GA03

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