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1.緒言 半導体製造工程の主要溶剤であるPGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate)等のVOC(揮発性有機化合物)排気処理工程においては高機能性活性炭が大量に使用され,コスト削減及び環境...【本文一部表示】