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J-GLOBAL ID：201902257431406638   整理番号：19A0610339

排気処理用活性炭の超臨界二酸化炭素を用いた再生の検討

Supercritical Carbon Dioxide Regeneration of Activated Carbon for Exhaust Processing

著者 (5件)： 伊藤康孝 (東北大学大学院工学研究科 化学工学専攻) ,  伊藤康孝 (ダイダン(株) 技術研究所) ,  宇敷育男 (広島大学大学院工学研究科 化学工学専攻) ,  佐藤善之 (東北大学大学院工学研究科 化学工学専攻) ,  猪股宏 (東北大学大学院工学研究科 化学工学専攻)
資料名： 化学工学論文集
巻： 45  号： 1  ページ： 29-34(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： S0110B  ISSN： 0386-216X  CODEN： KKRBAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造プロセスの排気処理装置で使用された活性炭について,超臨界二酸化炭素(ScCO₂)を用いた洗浄再生の検討を行った.洗浄再生実験は,温度80°C, 圧力20 MPa, 洗浄時間6 hのScCO₂条件下にて実施した.その結果,排気処理装置での使用期間が短い活性炭についてはScCO₂により再生できたが,使用期間が長い活性炭は再生が困難であった.活性炭の吸着質をTGA(熱重量分析)およびGC-MSを用いて分析した結果,使用済み活性炭には低沸点領域(TGA: 100-400°C)と高沸点領域(TGA: 400-900°C)の吸着質があり,低沸点吸着質はScCO₂によって除去できたが,高沸点吸着質は除去できなかった.高沸点吸着質の割合は排気処理装置での使用期間が長くなるにつれて増加する傾向を示し,それにともない,活性炭の再生率は直線的に減少した.高沸点吸着質の割合に相当する高沸点率という指標を定義した上でScCO₂による再生結果を整理したところ,使用された活性炭は高沸点率が2.0%では90%の再生率となり,高沸点率が4.0%であれば80%の再生率となったことから,高沸点率は再生率の指標となる可能性が示唆された.(著者抄録)

シソーラス用語： *資源再生 ,  *活性炭 ,  排ガス処理 ,  半導体プロセス ,  *超臨界流体抽出 ,  超臨界二酸化炭素 ,  洗浄 ,  重質留分 ,  軽質留分 ,  リサイクル ,  廃棄物処理 ,  利用 ,  再利用

著者キーワード (8件)： 超臨界二酸化炭素 ,  活性炭 ,  排気処理 ,  再生 ,  Supercritical Carbon Dioxide ,  Activated Carbon ,  Regeneration ,  Exhaust Processing

分類 (2件)： 資源回収利用  (SC05060V) ,  抽出  (XD02030B)

引用文献 (12件)：

• de Boer, J. H., B. G. Linsen, T. van der Plas and G. J. Zondervan; “Studies on pore systems in catalysts: VII. Description of the pore dimensions of carbon blacks by the t method,” J. Catal., 4, 649-653 (1965)
• Iino, M.; “Extraction and Swelling of Coal,” Sekiyu Gakkaishi, 35, 26-32 (1992)
• Iino, M.; “Carbon Disulfide/NMP Mixed Solvent Extraction Mechanism,” The Japan Institute of Energy Sekitan Ronbunshu, 43, 9-10 (2006)
• Ito, Y., S. Nakamura, T. Maeno, K. Nakano and H. Inomata; “Re-Use Technology for Organic Gas-Removal Filters Using Supercritical Carbon Dioxide,” American Institute of Chemical Engineers Annual Meeting, 395ba (2013)
• Mizukoshi, A., M. Noguchi and Y. Yanagisawa; “Action to Harmful Chemical Substance and VOC,” J. Japan Soc. Atmospheric Environ., 44, 319-322 (2009)

タイトルに関連する用語 (3件)： 排気 ,  活性炭 ,  超臨界二酸化炭素