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J-GLOBAL ID：201902271326585600   整理番号：19A0962056

原子時計チップの開発とその展望 MEMS技術を活用した原子時計の新たな展開

著者 (1件)： 原基揚 (情報通信研究機構 電磁波研)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 29  号： 5  ページ： 52-56  発行年： 2019年05月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・原子時計チップの開発に関して,MEMS技術を用いた原子時計の新たな展開について概説。
・電子時計システムのコスト,サイズおよび電力消費の圧縮に対して,HEMS共振子の一つである圧電薄膜共振子(FBAR)を活用した発振器の構築を提案。
・FBARは基板上に堆積した薄膜の体積弾性波素子で,GHz帯域で基本モード共振を高いQ値が得られ,シンプルな原子時計の構築が可能。
・HEMSガスセルを組み込んだCPT原子時計の開発と動作評価について紹介。

シソーラス用語： *原子時計 ,  MEMS ,  技術開発 ,  半導体チップ ,  小型化 ,  *共振器 ,  *音響共振器 ,  電力消費 ,  MEMSチップ ,  *測時機 ,  改変
準シソーラス用語： *FBAR ,  *MEMS共振器 ,  *圧電薄膜共振子

分類 (2件)： 時計  (QF03000A) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 原子時計 ,  開発 ,  展望 ,  MEMS ,  活用 ,  展開