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J-GLOBAL ID：201902279540683869   整理番号：19A1776375

薄膜金属ガラスを用いた超小型静電容量型圧力センサの作製

著者 (4件)： 上嶋祥平 (名古屋大) ,  岡智絵美 (名古屋大) ,  秦誠一 (名古屋大) ,  櫻井淳平 (名古屋大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2018  ページ： ROMBUNNO.J2220304  発行年： 2018年09月03日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 世界での都市ガス等のインフラ整備の推進による圧力センサの需要の高まりを受け,圧力センサの生産性向上,低コスト化や高性能化が求められている.センサの小型化を実現するため,従来のシリコンよりも1/3のヤング率を示し,優れた機械的特性(破断応力2GPa,破断歪2%以上)を有するRu基薄膜金属ガラス(Ru67Zr25Al8(at%))に着目し,超小型静電容量型圧力センサの作製を目的とした.作製サイズは,2mm×2mmとした.(著者抄録)

シソーラス用語： 金属ガラス ,  *金属薄膜 ,  *圧力センサ ,  センサ ,  *開発 ,  MEMS ,  ルテニウム合金 ,  内部応力 ,  焼なまし ,  静電容量センサ
準シソーラス用語： Ru合金 ,  アニーリング ,  *材料開発

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜金属 ,  ガラス ,  静電容量 ,  圧力センサ ,  作製