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J-GLOBAL ID:201902282882100355   整理番号:19A1374865

SiC上グラフェンの電子状態に対する界面の影響

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著者 (7件):
資料名:
巻: 66th  ページ: ROMBUNNO.10p-PA8-25  発行年: 2019年02月25日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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[緒言]グラフェン作製手法の一つであるSiC熱分解法は,半絶縁性基板上に直接的かつ大面積にグラフェンをエピタキシャル成長させることができる手法である.従って,トランジスタ応用に適している.本手法で得られるエピタキシャルグラフェン(EG)とS...【本文一部表示】
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分類 (4件):
分類
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炭素とその化合物  ,  薄膜成長技術・装置  ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  ,  半導体の赤外スペクトル及びRaman散乱・Ramanスペクトル 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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