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J-GLOBAL ID：201902288033748810   整理番号：19A2683160

電子エネルギー損失分光法スペクトルを対象とした結晶性および組成の解析手法の開発

著者 (9件)： 山本寛人 (東大 大学院) ,  田中健一 (東大 大学院) ,  山下俊介 (SONY) ,  浮田昌一 (SONY) ,  中野博史 (SONY) ,  白沢楽 (SONY) ,  冨谷茂隆 (SONY) ,  小寺正明 (東大 大学院) ,  船津公人 (東大 大学院)
資料名： ケモインフォマティクス討論会予稿集(Web)  (Proceedings of the Symposium on Chemoinformatics (Web))
巻： 42nd  ページ： ROMBUNNO.1P19(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： U0627A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子エネルギー損失分光法(EELS)から得られたスペクトルデータの解析手法について報告する。EELSは電子線を試料に照射し,透過した電子線に磁場をかけて分光し,エネルギー損失から試料の状態を推定する分析手法である。提案手法では,EELSスペクトルデータに2種類の前処理を適用し,主成分分析による解析を行った。ドライエッチング時のダメージの状態把握および,GaInN量子井戸におけるインジウム含有量の推定結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *電子エネルギー損失スペクトル ,  測定データ ,  *スペクトル解析 ,  主成分分析 ,  材料科学 ,  情報科学 ,  結晶度 ,  *化合物半導体 ,  インジウム化合物 ,  ガリウム化合物 ,  窒化物 ,  量子井戸 ,  化学組成 ,  ドライエッチング ,  損傷 ,  スペクトルデータ ,  *窒化物半導体 ,  人文科学
準シソーラス用語： マテリアルズインフォマティクス

分類 (3件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  人工知能  (JE08000Z) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子エネルギー損失分光法 ,  スペクトル ,  結晶性 ,  組成 ,  解析手法 ,  開発