特許
J-GLOBAL ID：201903009554265898
電子放出源の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-186938
公開番号（公開出願番号）：特開2019-061900
出願日： 2017年09月27日
公開日（公表日）： 2019年04月18日
要約：
【課題】錐体形状を有するホイスラー合金層を備える電子放出源を製造する際に、錐体形状の先端がダメージを受けることを抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】電子放出源の製造方法は、基板8にホイスラー合金層10を積層する工程と、ホイスラー合金層10に保護層14を積層する工程と、ホイスラー合金層10が錐体形状の突起部10aを有し、かつ錐体形状の突起部10aの先端に保護層14が残存するように、ホイスラー合金層10と保護層14をエッチングする工程と、錐体形状の突起部10aの先端に残存した保護層14を除去する工程を備えている。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
電子放出源の製造方法であって、
基板にホイスラー合金層を積層する工程と、
前記ホイスラー合金層に保護層を積層する工程と、
前記ホイスラー合金層が錐体形状を有し、かつ前記錐体形状の先端に前記保護層が残存するように、前記ホイスラー合金層と前記保護層をエッチングする工程と、
前記錐体形状の先端に残存した前記保護層を除去する工程を備える製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 1/304
, H01J 37/073
H01J9/02 B
, H01J1/304
, H01J37/073
5C030CC02
, 5C030CC10
, 5C227AA17
, 5C227AB03
, 5C227AC03
, 5C227AD02
, 5C227HH07
, 5C227HH40
, 5C227HH55
, 5C227HH72
