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J-GLOBAL ID：202002253164125369   整理番号：20A0738316

負荷変動に対してソフトスイッチングを維持するプラズマ発生器駆動用共振インバータのリアクタンス補償回路の提案

著者 (5件)： 白石達也 (岡山大) ,  梅谷和弘 (岡山大) ,  平木英治 (岡山大) ,  池成達也 (ダイヘン) ,  福本佳樹 (ダイヘン)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 364(EE2019 49-74)(Web)  ページ： 73-77 (WEB ONLY)  発行年： 2020年01月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,半導体製造装置用のプラズマ発生器では,その電源に効率の高い共振インバータの採用が進んでいる。しかし,共振インバータは負荷が容量性の時,ソフトスイッチングが成立せず,スイッチング損失増大によって破壊しやすい。これまでは,機械式のリアクタンス補償装置を設け,負荷インピーダンスを常に誘導性に保つ制御をしてきたが,機械式の装置では応答速度が遅く,突発的なプラズマの状態変動に伴う負荷変動に対応できなかった。そこで,本研究では,応答の早いスイッチング回路を応用したリアクタンス補償回路の使用を提案し,その適用効果を実験的に検証したので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ生成 ,  *インバータ ,  補償 ,  リアクタンス回路 ,  ソフトスイッチング ,  負荷変動 ,  スイッチ回路 ,  HF【周波数】 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： *共振インバータ

分類 (2件)： 電力変換器  (NB08030B) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (12件)：

• H. Fujita and H. Akagi, “A 2-MHz 2-kW voltage-source inverter for low-temperature plasma generators: implementation of fast switching with a third-order resonant circuit,” IEEE Trans. Ind. Appl., vol. 35, no. 1, pp. 21-27, Jan./Feb. 1999.
• H. Fujita, H. Akagi, and S. Shinohara, “A 2-MHz 6-kVA voltage-source inverter using low-profile MOSFET modules for low-temperature plasma generators,” IEEE Trans. Power Electron., vol. 14, no. 6, pp. 1014-1020, Nov. 1999.
• Y. Kim, J. Kim, S. Mun, H. Lee, S. Kwon, K. Suh, “The design of inverter power system for plasma generator,” in Proc. Intl. Conf. Elect. Mach. Syst. (ICEMS2005), Nanjing, China, Sept., 2005, pp. 1309-1312.
• M. Balcerak, M. Holub, S. Kalisiak, M. Zenczak, “Topology of a high voltage pulse generator using parasitic parameters of autotransformers for non-thermal plasma generation,” in Proc. Intl. Power Electron. Motion Ctrl. Conf. (EPE-PEMC2012), Novi Sad, Serbia, Sept., 2012, pp. DS1b.16-1-DS1b.16-6.
• M. K. Kazimierczuk and M. K. Jutty, “Fixed-frequency phase-controlled full-bridge resonant converter with a series load,” IEEE Trans. Power Electron., vol. 10, no. 1, pp. 9-18, Jan. 1995.

タイトルに関連する用語 (7件)： 負荷変動 ,  ソフトスイッチング ,  プラズマ発生器 ,  共振インバータ ,  リアクタンス ,  補償回路 ,  提案