特許
J-GLOBAL ID：202003005785530670
チャンバーアレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-232100
公開番号（公開出願番号）：特開2018-085975
特許番号：特許第6777310号
出願日： 2016年11月30日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 樹脂に複数のチャンバーが形成されたチャンバーアレイの製造方法であって、
基板上に複数のビーズを配置するビーズ配置工程と、
前記基板および前記複数のビーズ上に液状の前記樹脂を配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、
硬化後の前記樹脂を前記基板から剥離する剥離工程と、
前記基板から剥離した前記樹脂から前記複数のビーズを除去する除去工程とを含む
チャンバーアレイの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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