熱流束センサおよびその較正方法、被測定物の異常検知方法並びにエンジンの動作異常検知方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：棚井澄雄 , 五十嵐光永 , 志賀正武 , 高橋詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-209118
公開番号（公開出願番号）：特開2017-083206
特許番号：特許第6622559号
出願日： 2015年10月23日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板と、前記基板側から絶縁層、抵抗体層、および保護層がこの順で積層された積層構造体と、を備え、前記抵抗体層に抵抗体が設けられており、前記抵抗体の代表スケールが、下記(2)式を満たし、前記代表スケール=Lとされた第1抵抗体のほかに、前記第1抵抗体の代表スケールよりも代表スケールが小さい第2抵抗体を単数または複数備え、前記抵抗体の抵抗値に基づいて、熱流束を求めることを特徴とする熱流束センサ。 L≧4×(a/f)0.5 ・・・(2) ただし、L;抵抗体の代表スケール(m) a;基板の温度伝導率 f;較正用発熱変動の周波数

IPC (2件)：