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J-GLOBAL ID：202102238533656790   整理番号：21A1660059

FIBによる強誘電体ナノ構造の作製

Fabrication of nanostructured ferroelectric materials by using FIB

著者 (3件)： 岡本一輝 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  山田智明 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  長崎正雅 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 名古屋大学電子光学研究のあゆみ  (Nagoya University Ayumi(Progress Steps) of the Electron Optics Research)
号： 32  ページ： 101  発行年： 2021年05月20日 
JST資料番号： X0925A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *強誘電体 ,  *ナノ構造 ,  *集束イオンビーム ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  イオン顕微鏡法 ,  イオンエッチング ,  パルスレーザ蒸着 ,  *ナノアイランド
準シソーラス用語： *ナノ島状構造 ,  圧電特性

分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (4件)： FIB ,  強誘電体 ,  ナノ構造 ,  作製