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J-GLOBAL ID：202102245903115316   整理番号：21A1573433

マクロステップを有するAlGaNに形成される離散的AlNモル分率(1)

Discrete AlN mole fraction observed in AlGaN Layer with Dense Macrosteps (1)

著者 (12件)： 長澤陽祐 (創光科学) ,  平野光 (創光科学) ,  一本松正道 (創光科学) ,  迫秀樹 (東レリサーチセ) ,  橋本愛 (東レリサーチセ) ,  杉江隆一 (東レリサーチセ) ,  本田善央 (名大 IMaSS) ,  天野浩 (名大 IMaSS) ,  赤崎勇 (名大 IMaSS) ,  赤崎勇 (名城大 理工) ,  小島一信 (東北大 IMRAM) ,  秩父重英 (東北大 IMRAM)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 68th  ページ： ROMBUNNO.16p-Z27-6  発行年： 2021年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【序文】マクロステップを有するAlN上に成長したn-AlGaN内部には,マクロステップを起点とするGaNモル分率の高い領域(幅20nmの電流パス)が形成される.この構造により,量子井戸の内部量子効率の高い部位に選択的に電子を注入して,AlG...【本文一部表示】

シソーラス用語： 分解能 ,  濃度分布 ,  オレンジ ,  近似法 ,  *窒化アルミニウム ,  *窒化ガリウム ,  Rutherford後方散乱 ,  高分解能 ,  量子井戸 ,  X線分光法 ,  エネルギー散逸 ,  モル分率 ,  変換効率 ,  高精度
準シソーラス用語： 内部量子効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： マクロ ,  AlGaN ,  AlN ,  モル分率