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J-GLOBAL ID：202102248658686770   整理番号：21A1574174

X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価

Triaxial Strain Evaluation for Mesa-structured Carbon-doped Silicon using X-ray Reciprocal Space Mapping

著者 (9件)： 吉岡和俊 (明治大 理工) ,  小原田賢聖 (明治大 理工) ,  小笠原凱 (明治大 理工) ,  廣沢一郎 (高輝度光科学研究セ) ,  渡辺剛 (高輝度光科学研究セ) ,  横川凌 (明治大 理工) ,  横川凌 (明大 MREL) ,  小椋厚志 (明治大 理工) ,  小椋厚志 (明大 MREL)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 68th  ページ： ROMBUNNO.17p-Z33-5  発行年： 2021年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： 回折 ,...
準シソーラス用語： 歪緩和

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分類 (2件)： その他の光デバイス  (BD06060O) ,  蛋白質・ペプチド一般  (EB03010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： X線 ,  逆格子空間 ,  マッピング ,  メサ構造 ,  軸歪 ,  評価