検査方法、検査用器具及び検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2019030010
公開番号（公開出願番号）：WO2020-027197
出願日： 2019年07月31日
公開日（公表日）： 2020年02月06日
要約：

被検査物質の濃度を液体中で測定することができ、被検査物質の濃度を高い精度で測定することができる検査方法を提供する。本発明に係る検査方法は、検査用器具を用いる検査方法であり、前記検査用器具は、複数の凹部又は凸部による周期構造を有する壁部を備え、前記複数の凹部又は前記複数の凸部は、屈折率調整層を表面に有し、前記屈折率調整層は、前記被検査物質含有液の屈折率よりも0.7以上大きい屈折率を有する層、又は、シリコン層であり、前記検査用器具に前記被検査物質含有液を導入しない状態において、前記屈折率調整層に光を照射して基準光強度を測定するステップと、前記検査用器具に前記被検査物質含有液を導入し、前記被検査物質と前記液体とが存在する状態において、前記屈折率調整層に光を照射して評価光強度を測定するステップと、前記基準光強度と前記評価光強度との相対値を取得するステップとを備える。

請求項（抜粋）：

被検査物質と液体とを含む被検査物質含有液を用いて、該被検査物質含有液に含まれる前記被検査物質の濃度を前記液体中で測定する検査方法であって、検査用器具を用いる検査方法であり、前記検査用器具は、複数の凹部又は複数の凸部による周期構造を有する壁部を備え、前記複数の凹部又は前記複数の凸部は、屈折率調整層を表面に有し、前記屈折率調整層は、前記被検査物質含有液の屈折率よりも0.7以上大きい屈折率を有する層であるか、又は、シリコン層であり、前記検査用器具に前記液体を導入した状態において、前記周期構造に光を照射して基準光強度を測定するステップと、前記検査用器具に前記被検査物質含有液を導入し、前記被検査物質と前記液体とが存在する状態において、前記周期構造に光を照射して評価光強度を測定するステップと、前記基準光強度と前記評価光強度との相対値を取得するステップとを備え、前記被検査物質の濃度が既知である検体を前記検査用器具に導入したときにおける前記相対値と、前記被検査物質の濃度が未知である検体を前記検査用器具に導入したときにおける前記相対値とを比較することで、前記被検査物質の濃度が未知である検体中の前記被検査物質の濃度を決定する、検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/51 , G01N 21/17 , G01N 21/03 , G01N 33/579 , C12M 1/40

FI (5件)：

G01N21/51 , G01N21/17 Z , G01N21/03 Z , G01N33/579 , C12M1/40 B

Fターム (27件)：

2G057AA02 , 2G057AA12 , 2G057AB01 , 2G057AB07 , 2G057AC01 , 2G057BA01 , 2G057BA03 , 2G057BB01 , 2G057BB06 , 2G057BD08 , 2G057CB01 , 2G057CB03 , 2G057DA03 , 2G057DA08 , 2G059AA01 , 2G059BB04 , 2G059BB12 , 2G059EE02 , 2G059EE04 , 2G059JJ30 , 2G059KK01 , 4B029AA07 , 4B029BB16 , 4B029CC13 , 4B029FA12 , 4B029GA03 , 4B029GB06

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