特許
J-GLOBAL ID：202103009134771281
オリゴシランの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平川 明
, 筧 ちひろ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-521742
特許番号：特許第6969846号
出願日： 2017年06月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 テトラヒドロシラン(SiH4)を原料として用いて下記式(P-1)で表されるオリゴシランを生成する第1-1工程を含むオリゴシランの製造方法であって、
(式(P-1)中、nは2〜5の整数を表す。)
前記第1-1工程が、テトラヒドロシラン(SiH4)とともに下記式(R-1)で表されるオリゴシランを原料として用いて、下記式(R-1)で表されるオリゴシランから下記式(P-1)で表されるオリゴシランを生成させることを含む工程であることを特徴とする、オリゴシランの製造方法。
(式(R-1)及び(P-1)中、nは2〜5の整数を表す。)
IPC (4件)：
C01B 33/04 ( 200 6.01)
, B01J 29/40 ( 200 6.01)
, B01J 29/42 ( 200 6.01)
, B01J 29/48 ( 200 6.01)
C01B 33/04
, B01J 29/40 M
, B01J 29/42 M
, B01J 29/48 M
