特許

J-GLOBAL ID：202103017125711147

水素分離用膜

発明者： 青木 芳尚 ,  倉 千晴 ,  幅▲ざき▼ 浩樹
出願人/特許権者： 国立大学法人北海道大学
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018047935
公開番号（公開出願番号）：WO2019-131792
出願日： 2018年12月26日
公開日（公表日）： 2019年07月04日
要約：

本発明は、透過電子顕微鏡観察による決定した結晶子サイズが10nm以下であり、少なくとも一部の結晶子は岩塩型構造を有し、結晶子は(111)配向を示すが、(100)配向を実質的に示さない、一般式MNx(MはFermiエネルギーが-4.4 eV vs L.V.よりも高い位置にある金属元素であり、x は、岩塩型構造を取り得る範囲である)で示される金属窒化物粒子を含む多結晶体膜に関する。本発明はさらに、温度が200°C未満である基板上にスパッタリングにより、少なくとも一部の結晶子は岩塩型構造を有し、かつ結晶子は(111)配向を示すが、(100)配向を実質的に示さない、一般式MNxで示される金属窒化物粒子を含む多結晶体膜を形成することを含む、多結晶体膜の製造方法に関する。本発明は、より高いヒドリドイオン(H-)-電子混合伝導を示す水素透過性のTiNx微粒子膜を提供する。

請求項（抜粋）：

透過電子顕微鏡観察による決定した結晶子サイズが10nm以下であり、少なくとも一部の結晶子は岩塩型構造を有し、結晶子は(111)配向を示すが、(100)配向を実質的に示さず、一般式MNx(MはFermiエネルギーが-4.4 eV vs L.V.よりも高い位置にある金属元素であり、xは、岩塩型構造を取り得る範囲である)で示される金属窒化物粒子を含む多結晶体膜。

IPC (7件)：

B01D 71/02 ,  B01D 69/02 ,  B01D 69/10 ,  B01D 69/12 ,  C01B 21/06 ,  C01B 3/56 ,  C23C 14/06

FI (7件)：

B01D71/02 500 ,  B01D69/02 ,  B01D69/10 ,  B01D69/12 ,  C01B21/06 A ,  C01B3/56 Z ,  C23C14/06 A

Fターム (25件)：

4D006GA41 ,  4D006MA03 ,  4D006MA09 ,  4D006MA40 ,  4D006MC01X ,  4D006MC03 ,  4D006NA31 ,  4D006PA01 ,  4D006PB66 ,  4D006PB70 ,  4G140FA01 ,  4G140FB06 ,  4G140FC01 ,  4G140FE01 ,  4K029AA00 ,  4K029AA07 ,  4K029BA60 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029EA01 ,  4K029EA03 ,  4K029EA04 ,  4K029EA05 ,  4K029EA08 ,  4K029EA09