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J-GLOBAL ID：202202232767521059   整理番号：22A1706580

MEMS技術を用いたSchmidt配置Lobster eye X線光学系の開発 II

Development of Schmidt-type Lobster eye X-ray optics using MEMS technology

著者 (16件)： 作田紗恵 (東京都大) ,  江副祐一郎 (東京都大) ,  石川久美 (東京都大) ,  沼澤正樹 (東京都大) ,  伊師大貴 (東京都大) ,  福島碧都 (東京都大) ,  内野友樹 (東京都大) ,  稲垣綾太 (東京都大) ,  上田陽功 (東京都大) ,  森下弘海 (東京都大) ,  関口るな (東京都大) ,  辻雪音 (東京都大) ,  村川貴俊 (東京都大) ,  満田和久 (国立天文台) ,  金森義明 (東北大) ,  森下浩平 (九大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 69th  ページ： ROMBUNNO.24a-P01-71  発行年： 2022年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は、将来衛星への搭載に向けてMEMS技術を用いた超軽量X線光学系を開発している(Ezoe et al. 2010MSTなど)。厚み300μmのSi基板にドライエッチングにより幅20μmの微細穴を形成し、その側壁を反射鏡として用いる。高温...【本文一部表示】

シソーラス用語： 結像 ,  高温 ,  焼なまし ,  反射鏡 ,  望遠鏡 ,  *光学系 ,  アンモニア ,  平滑化 ,  塑性変形 ,  宇宙空間 ,  集光 ,  ドライエッチング ,  FWHM ,  *MEMS ,  シリコンウエハ

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  X線光学系 ,  開発