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J-GLOBAL ID:202202241554989573   整理番号:22A1706939

イオン空間電荷からシリコンフォトニック結晶へのキャリア流入

Influx of carriers from ionized space charges into silicon photonic crystal
著者 (5件):
資料名:
巻: 69th  ページ: ROMBUNNO.24p-P09-4  発行年: 2022年02月25日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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序論.フォトニック結晶ナノ共振器は,高Q値・小型・波長選択性などの利点から,高感度センサ開発が期待されてきた.我々は,CMOS互換プロセスを用いて平均Q値190万を有するシリコンナノ共振器の大量作製を実現している[1].一般的に,高いQ値は...【本文一部表示】
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分類 (2件):
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その他の光デバイス  ,  固体デバイス製造技術一般 

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