文献

J-GLOBAL ID：202202243690037583   整理番号：22A0934414

X線反射率向上を目指した原子層堆積法による軽元素膜付け

著者 (14件)： 石川久美 (都大) ,  伊師大貴 (都大) ,  江副祐一郎 (都大) ,  沼澤正樹 (都大) ,  福島碧都 (都大) ,  内野友樹 (都大) ,  作田紗恵 (都大) ,  稲垣綾太 (都大) ,  上田陽功 (都大) ,  森下弘海 (都大) ,  関口るな (都大) ,  辻雪音 (都大) ,  村川貴俊 (都大) ,  満田和久 (国立天文台)
資料名： 日本天文学会年会講演予稿集
巻： 2022  号： 春季  ページ： 186  発行年： 2022年02月20日 
JST資料番号： S0300B  ISSN： 1347-0639  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 次世代X線望遠鏡の一つとして開発が進められているのがシリコンを使った軽量望遠鏡である。我々は微細加工技術を用いた独自の世界最軽量X線望遠鏡を開発している(Ezoe et al.2010MST)。厚さ300μmのシリコン基板に幅20μmの微細...【本文一部表示】

シソーラス用語： *反射率 ,  望遠鏡 ,  金 ,  イリジウム ,  ケイ素 ,  白金 ,  アルミナ ,  重金属 ,  炭化ケイ素 ,  *X線反射 ,  金属薄膜 ,  X線望遠鏡 ,  純金属 ,  シリコンウエハ ,  薄膜形成

分類 (1件)： 流星,すい星,いん石  (DB04040A)

タイトルに関連する用語 (3件)： X線反射率 ,  原子層堆積法 ,  軽元素