気体原料を用いた1T′相WS<sub>2</sub>の化学気相成長

岡田光博; LIN Yung-Chang; 菊地伊織; 岡田直也; CHANG Wen Hsin; 清水哲夫; 久保利隆; PU Jiang; 竹延大志; 山田貴壽; 入沢寿史

文献

J-GLOBAL ID：202202263710136405 整理番号：22A0132641

気体原料を用いた1T′相WS₂の化学気相成長

Gas-source chemical vapor deposition growth of 1T′-phase WS₂ atomic layers

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応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

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巻： 82nd ページ： ROMBUNNO.11a-N302-2 発行年： 2021年08月26日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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