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J-GLOBAL ID：202202268104985711   整理番号：22A1078698

光電子分光法によるSiO₂/Si界面準位欠陥の消滅に伴う歪み状態変化の解析

著者 (9件)： 鈴木陽洋 (SUMCO) ,  高橋和敏 (佐賀大 シンクロトロン光応用研究セ) ,  奥山亮輔 (SUMCO) ,  小林弘治 (SUMCO) ,  廣瀬諒 (SUMCO) ,  柾田亜由美 (SUMCO) ,  門野武 (SUMCO) ,  古賀祥泰 (SUMCO) ,  栗田一成 (SUMCO)
資料名： 九州シンクロトロン光研究センター年報
巻： 2020  ページ： 8-10  発行年： 2022年03月 
JST資料番号： F1818A  ISSN： 1881-3402  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光電子分光法 ,  SiO2 ,  Si ,  界面準位 ,  欠陥 ,  歪み ,  解析