特許
J-GLOBAL ID：202203006700493918

走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

発明者：
高橋 康史

高橋 康史 について


出願人/特許権者：
国立大学法人金沢大学

国立大学法人金沢大学 について


代理人 (2件)： 大谷 嘉一 ,  西野 千明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-137405
公開番号（公開出願番号）：特開2022-033486
出願日： 2020年08月17日
公開日（公表日）： 2022年03月02日
要約：
【課題】走査速度の高速化を図った走査型イオンコンダクタンス顕微鏡の提供を目的とする。 【解決手段】試料を保持する試料ステージと、プローブを保持するプローブ保持手段とを備え、前記試料の表面と前記プローブの先端部との相対的な水平方向の位置を制御するXY方向制御手段と、前記試料の表面と前記プローブの先端部との垂直方向の距離を制御するZ方向制御手段とを有し、前記Z方向制御手段はプローブの先端部を試料表面に対して退避制御するための退避モードアクチュエータと、プローブの先端部を試料表面に対してホッピング動作するためのホッピングモードアクチュエータと、プローブの先端部を試料表面に対してトレース動作するためのトレースアクチュエータとを有することを特徴とする。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を保持する試料ステージと、 プローブを保持するプローブ保持手段とを備え、 前記試料の表面と前記プローブの先端部との相対的な水平方向の位置を制御するXY方向制御手段と、 前記試料の表面と前記プローブの先端部との垂直方向の距離を制御するZ方向制御手段とを有し、 前記Z方向制御手段はプローブの先端部を試料表面に対して退避制御するための退避モードアクチュエータと、 プローブの先端部を試料表面に対してホッピング動作するためのホッピングモードアクチュエータと、 プローブの先端部を試料表面に対してトレース動作するためのトレースアクチュエータとを有することを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
IPC (2件)：
G01Q 60/44 ,  G01Q 10/06
FI (2件)：
G01Q60/44 ,  G01Q10/06
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第09354249号(US20130312143)
審査官引用 (4件)
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