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J-GLOBAL ID：202302219911981391   整理番号：23A1747354

シリコンフォトニクス素子による空間電荷測定

Space Charge Measurement by Silicon Photonics

著者 (4件)： 東口岳樹 (大阪公立大 大学院) ,  菊永和也 (産業技術総合研) ,  大塚亘晟 (大阪公立大 大学院) ,  高橋和 (大阪公立大 大学院)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 47  号： 3  ページ： 91-96  発行年： 2023年05月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・空間電荷の検知に光のみを用いる点で従来技術と異なり,小型,省エネ,優れた放射線耐性という特徴を持つ著者等が進めてきた研究について説明。
・静電気検知技術として広く普及している表面電位計,空間電荷を計測する方式と比較して,本技術は,検知のコア部分に光技術のみを用いるため,強い空間電荷下においてもセンサのESD破壊は皆無。
・モジュール筐体はほとんど金属で,手のひらサイズであり,フォトニック結晶に入射する光強度は10μW程度で十分,可動部分も持たないため,粉塵爆発や可燃性ガスヘ引火する可能性少。
・以上の特長より,従来技術が適用できなかった利用が想定される場面は,配管内など狭小空間,エンジン付近など高振動環境,宇宙空間などの極限環境,化学プラントなどの危険空間。

シソーラス用語： *オプトエレクトロニクス ,  *空間電荷 ,  耐放射線性 ,  静電気 ,  表面電位 ,  放電 ,  モジュール ,  金属 ,  *フォトニック結晶 ,  粉塵爆発 ,  可燃性ガス ,  配管 ,  原動機 ,  環境 ,  化学プラント ,  *シリコンフォトニクス ,  静電気放電
準シソーラス用語： 放射線耐性 ,  ESD【放電】 ,  エンジン ,  極限環境

分類 (1件)： 誘電体一般  (BM05010F)

引用文献 (16件)：

• 静電気学会: 静電気ハンドブック, オーム社 (1998)
• 三宅弘晃: 人工衛星に及ぼす帯電放電現象について. 電気設備学会誌, 31(2011)348
• S. Yasuda, Y. Takahashi, T. Asano, Y. Saito, K. Kikunaga, D. Yamashita, S. Noda and Y. Takahashi: Detection of negatively ionized air by using a Raman silicon nanocavity laser. Opt. Express, 29 (2021) 16228
• Y. Takahashi, M. Fujimoto, K. Kikunaga and Y. Takahashi: Detection of ionized air using a photonic-crystal nanocavity excited by broadband light from a superluminescent diode. Opt. Express, 30 (2022) 10694
• M. Fujimoto, Y. Takahashi, K. Kikunaga and Y. Takahashi: Control of the sensitivity of the detection of ionized air using photonic crystal waveguides. Opt. Continuum, 2 (2022) 349

タイトルに関連する用語 (2件)： シリコンフォトニクス ,  電荷測定