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J-GLOBAL ID：202302244884547180   整理番号：23A0205145

ナノピクセル構造を集積したSi/SiO₂ハイメサ導波路の形成

Formation of Si/SiO2 high-mesa waveguides with integrated nano-pixel structures

著者 (6件)： 嶋村雄太 (九大 大学院総合理工学府) ,  桑畑亮太 (九大 大学院総合理工学府) ,  山内健生 (九大 大学院総合理工学府) ,  田部井哲夫 (広島大 ナノデバイス・バイオ融合科研) ,  JIANG Haisong (九大 大学院総合理工学府) ,  浜本貴一 (九大 大学院総合理工学府)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 83rd  ページ： ROMBUNNO.21a-A205-4  発行年： 2022年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに.日常的な健康モニタリングシステムとして、小型呼気センシングシステムを実現する光集積回路を研究開発している[1]。ナノピクセル構造を用いた非対称分岐とセンシング導波路としてSi/SiO2ハイメサ導波路の集積を検討している(図1)...【本文一部表示】

シソーラス用語： エッチング ,  重合体 ,  *ケイ素 ,  光 ,  フォトレジスト ,  *二酸化ケイ素 ,  二酸化炭素 ,  非対称性 ,  監視装置 ,  光導波路 ,  メサ構造 ,  *導波路 ,  ドライエッチング ,  パターン形成 ,  ナノホール

分類 (1件)： レーダ  (ND13010H)

タイトルに関連する用語 (5件)： ピクセル構造 ,  集積 ,  Si ,  SiO2 ,  導波路