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J-GLOBAL ID：202302255720507798   整理番号：23A1113207

原子層堆積法を用いたCo成膜Si光学系の開発

著者 (16件)： 辻雪音 (東京都大) ,  伊師大貴 (東京都大) ,  福島碧都 (東京都大) ,  江副祐一郎 (東京都大) ,  石川久美 (東京都大) ,  沼澤正樹 (東京都大) ,  稲垣綾太 (東京都大) ,  上田陽功 (東京都大) ,  森下拓海 (東京都大) ,  関口るな (東京都大) ,  村川貴俊 (東京都大) ,  山口和馬 (東京都大) ,  石川怜 (東京都大) ,  森本大輝 (東京都大) ,  山田裕大 (東京都大) ,  満田和久 (国立天文台)
資料名： 日本天文学会年会講演予稿集
巻： 2023  号： 春季  ページ： 200  発行年： 2023年02月20日 
JST資料番号： S0300B  ISSN： 1347-0639  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 我々は世界初の地球磁気圏X線撮像を目指すGEO-X(GEOspace X-ray imager)計画に向けて超軽量X線望遠鏡の開発を進めている(Ezoe et al.2022 SPIE)。MEMS(マイクロマシン)技術を用いてSi基板に製作...【本文一部表示】

シソーラス用語： イオン ,  高温 ,  反射鏡 ,  反射率 ,  *ケイ素 ,  酸素 ,  白金 ,  被覆 ,  平滑化 ,  ドライエッチング ,  周波数帯 ,  原子間力顕微鏡 ,  MEMS ,  シリコンウエハ ,  *薄膜形成

分類 (1件)： 流星,すい星,いん石  (DB04040A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 原子層堆積法 ,  CO ,  成膜 ,  Si ,  光学系 ,  開発