3次元積層型CMOSイメージセンサ向けCH<sub>4</sub>N分子イオン注入エピタキシャルシリコンウェーハの水素拡散挙動

奥山亮輔; 門野武; 柾田亜由美; 鈴木陽洋; 小林弘治; 重松理史; 廣瀬諒; 古賀祥泰; 栗田一成

文献

J-GLOBAL ID：202302260868549691 整理番号：23A0204968

3次元積層型CMOSイメージセンサ向けCH₄N分子イオン注入エピタキシャルシリコンウェーハの水素拡散挙動

Hydrogen diffusion behavior of CH₄N-molecular-ion-implanted wafers for 3D stacked CMOS image sensors

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=23A0204968&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=23A0204968&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055B") }}

著者 (9件)： , , , , , , , ,
資料名：
巻： 83rd ページ： ROMBUNNO.20p-C202-5 発行年： 2022年08月26日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

...【本文一部表示】

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=23A0204968&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055B") }}

脂質一般 , 細胞膜の輸送

, , , , ,

前のページに戻る

3次元積層型CMOSイメージセンサ向けCH4N分子イオン注入エピタキシャルシリコンウェーハの水素拡散挙動

3次元積層型CMOSイメージセンサ向けCH₄N分子イオン注入エピタキシャルシリコンウェーハの水素拡散挙動