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J-GLOBAL ID：202302261058896204   整理番号：23A0356855

マイクロデバイス応用を目指した薄板・薄膜磁歪材料の作製とその磁気特性

The magnetic property of thin-film magnetostriction materials towards micro device application

著者 (5件)： 伊高健治 (弘前大 地域研) ,  山浦真一 (大阪工大) ,  吉年規治 (九大) ,  古屋泰文 (東北大 マイクロシステム融合研究開発セ) ,  千葉晶彦 (東北大 金属材料研)
資料名： 東北大学金属材料研究所新素材共同研究開発センター共同利用研究報告書(CD-ROM)
巻： 2021  ページ： 156-157  発行年： 2022年08月31日 
JST資料番号： L3700B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 磁場センサとしてPZTセンサ上に磁歪膜を形成した。Fe-Ga,Fe-Co,Fe-Pd,およびニッケルの磁歪薄膜を用いた3層型ME磁気センサの出力特性は,磁歪材料の組成によって変化し,センサ特性としてFe-Pd>Fe-Co>Fe-Ga>ニッケルの順であった。著者らが開発したFe-Pd系とFe-Co系は感度が向上することが明らかになった。特に,Fe-Co系はコストも有利であり,また,感度が組成の調整によって改善できることが期待できる。低磁場下の周波数特性と出力特性の詳細について,将来調査する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *磁気センサ ,  磁歪 ,  *磁気歪材料 ,  センサ ,  RFスパッタリング ,  鉄合金 ,  ガリウム含有合金 ,  パラジウム含有合金 ,  コバルト含有合金 ,  ニッケル ,  感度 ,  磁気的性質 ,  薄膜センサ
準シソーラス用語： 磁場センサ ,  出力特性 ,  *磁気特性

分類 (1件)： 磁電デバイス  (NC03100X)

引用文献 (4件)：

• 古屋泰文, 斉藤千尋, 岡崎禎子: 日本金属学会誌 66 (2002) 901-904.
• S. Yamaura, T. Nakajima, T. Satoh, T. Ebata, Y. Furuya: Mater. Sci. Eng. B 193 (2015) 121-129.
• T. Yamazaki, Y. Furuya, W. Nakao: J. Magn. Magn. Mater. 475 (2019) 240-248.
• Takahiro Yamazaki, Yasubumi Furuya, Seiichi Hata1, Wataru Nakao: IEEE Trans. Magn. 58 (2022) 4000308.

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロデバイス ,  応用 ,  薄板 ,  薄膜 ,  磁歪材料 ,  作製 ,  磁気特性