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J-GLOBAL ID：202402214097635579   整理番号：24A0684973

MEMSデバイスを利用したNi基薄膜金属ガラスの内部応力測定

Internal Stress Measurement of Ni-based Thin Film Metallic Glass Using MEMS Devices

著者 (4件)： 高瀬駿 (名古屋大) ,  岡智絵美 (名古屋大) ,  櫻井淳平 (名古屋大) ,  秦誠一 (名古屋大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 39th  ページ： ROMBUNNO.14P3-C-3  発行年： 2022年11月07日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・MEMSデバイスを利用した薄膜内部応力の高精度な測定法を考案し,それを利用して熱処理条件の違いによるNi基薄膜金属ガラスの内部応力の変化を調査。
・実験方法として,薄膜内部応力の測定に用いるMEMSデバイスの概念図を示し,応力緩和を目的とする熱処理方法として,熱処理の有無のサンプルに対する測定結果を提示。
・本測定法によるNi基薄膜金属ガラスの内部応力の変化を調査した結果,熱処理による応力緩和により,内部応力が圧縮方向から引張方向へ変化したことが確認されたことを指摘。

シソーラス用語： *MEMS ,  *金属ガラス ,  *内部応力 ,  応力測定 ,  熱処理 ,  応力緩和 ,  計測
準シソーラス用語： *MEMSデバイス ,  *Ni基薄膜金属ガラス

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (8件)：

• S. Wang, D. Sun, S Hata, J. Sakurai and A Shimokohbe : “Fabrication of thin film metallic glass (TFMG) pipe for a cylindrical ultrasonic linear micro-actuator”, Sensor and Actuators A:Physical, Vol. 153, Issue 1, pp. 120-126 (2009)
• A. Inoue, B. Shen and A. Takeuchi : “Developments and Applications of Bulk Glassy Alloys in Late Transition Metal Base System”, Materials Transactions, Vol. 47, No. 5, pp. 1275-1285 (2006)
• S. Hata, J. Sakurai and A. Shimokohbe : “Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials”, 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, pp. 479-482 (2005)
• 山寺秀哉:「薄膜の熱応力測定と制御」,豊田中央研究所R&Dレビュー,Vol.34,No.1 p.19-24 (1993)
• J. Sakurai, M. Abe, M. Ando, Y. Aono, S. Hata, “Searching for noble Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys for optical glass device molding die materials”, Precis. Eng., Vol. 35, Issue 4, pp. 537-546 (2011)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMSデバイス ,  Ni基 ,  薄膜金属 ,  ガラス ,  応力測定