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J-GLOBAL ID：202402251582015548   整理番号：24A0735586

静電容量形圧力センサ用Al-Cu-Ti薄膜非晶質合金のコンビナトリアル探索

著者 (4件)： 大塚穂高 (名古屋大) ,  岡智絵美 (名古屋大) ,  秦誠一 (名古屋大) ,  櫻井淳平 (名古屋大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 40th  ページ： ROMBUNNO.8P2-PM-2  発行年： 2023年10月31日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・ガス圧測定用の圧力センサの需要が高まる中,静電容量形圧力センサは,優れた温度特性,耐久性などの利点があるため,小形化,高性能化,低コスト化が訴求。
・そこで,共晶温度が低いAl-Cu合金にTiを添加し,新規薄膜非晶質合金の探索を目的に,コンビナトリアル探索で,Al-Cu-Tiサンプルの結晶化温度Txを測定。
・Alが60at.%以上かつCuが15at.%以下の領域で結晶化温度が600K以下であることが確認。
・今後はAlが60at.%かつCuが15at.%の薄膜サンプルを作製し,その機械的特性評価を実施予定。

シソーラス用語： 静電容量 ,  圧力センサ ,  *薄膜 ,  *非晶質合金 ,  *コンビナトリアルケミストリー ,  圧力 ,  特性 ,  耐久性 ,  小型化 ,  原価低減 ,  晶出温度 ,  評価 ,  ガス圧 ,  機械的特性評価 ,  改変 ,  減少 ,  変化
準シソーラス用語： *コンビナトリアル手法 ,  温度特性 ,  結晶化温度 ,  高性能化 ,  低コスト化

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (3件)：

• Eswaran P, Malarvizhi S: “MEMS Capacitive Pressure Sensors: A Review on Recent Development and Prospective”, Int. J. Eng. Technol., Vol5, (2013), 2734-2746
• F. Haga, T. Yamazaki, C. Oka, S. Hata, Y. Hoshino, J. Sakurai: “Effect of structural relaxation at bellow crystallization temperature on internal stress of Ni-Nb-Zr thin film amorphous alloys diaphragm for micro electromechanical systems sensors”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.61 (2022) SD1027
• Y. Aono, J. Sakurai, A. Shimokohbe, S. Hata: “Evaluation of the Validity of Crystallization Temperature Measurements Using Thermography with Different Sample Configurations”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.49 (2010) 076601

タイトルに関連する用語 (7件)： 静電容量 ,  圧力センサ ,  Al ,  Cu ,  Ti薄膜 ,  非晶質合金 ,  探索