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J-GLOBAL ID：202402271114695249   整理番号：24A2709617

同軸型アークプラズマ堆積法によって超硬合金上に成膜された超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相膜の機械的・構造的特性に基板の硝酸処理が与える影響

Effects of Nitric Acid Treatment on Mechanical Properties of Nanodiamond Composite Films Deposited on WC-Co substrate by Coaxial Arc Plasma

著者 (6件)： 齊藤誠志郎 (九大) ,  ALI A. M. (九大) ,  ALI A. M. (アル=アズハル大) ,  村澤功基 (オーエスジー) ,  楢木野宏 (九大) ,  吉武剛 (九大)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)  (Abstract Book. Asian Applied Physics Conference (Web))
巻： 48  ページ： 12 (WEB ONLY)  発行年： 2022年11月26日 
JST資料番号： U0757A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： アークプラズマ ,  超硬合金 ,  ナノ結晶 ,  *ダイヤモンド ,  *アモルファスカーボン ,  機械的性質 ,  構造特性 ,  基板 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： ナノ微結晶 ,  構造的特性

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： 同軸 ,  アークプラズマ ,  堆積 ,  硬合金 ,  成膜 ,  ナノ微結晶 ,  ダイヤモンド ,  アモルファスカーボン ,  構造的特性 ,  硝酸