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J-GLOBAL ID：202502217969231019   整理番号：25A1047345

イオン交換法を用いた廃液中の高濃度水酸化テトラメチルアンモニウムの分離回収

著者 (3件)： 岡本一輝 (北九大) ,  西浜章平 (北九大) ,  吉塚和治 (北九大)
資料名： 化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM)  (化学工学会秋季大会(CD-ROM))
巻： 55th  ページ： ROMBUNNO.YA334  発行年： 2024年09月11日 
JST資料番号： L0827B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造工場から排出される廃液には腐食性と毒性を有する有機アルカリである水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)が含有されており,その処理が必須である。本研究では,半導体処理工場で排出される高濃度のTMAHのイオン交換法による分離回収を目的として研究を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *陽イオン交換 ,  *工場廃水 ,  高濃度 ,  *分離回収 ,  半導体工場 ,  有機塩基 ,  毒性 ,  腐食 ,  吸着 ,  吸着量 ,  Langmuir吸着等温式

分類 (2件)： 吸着,イオン交換  (XD02060I) ,  産業廃水処理  (SC03080D)

物質索引 (1件)： 水酸化テトラメチルアンモニウム

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン交換 ,  廃液 ,  高濃度 ,  水酸化テトラメチルアンモニウム ,  分離回収