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J-GLOBAL ID：202502225604797965   整理番号：25A1419156

ダイヤモンド(111)基板上に成膜したβ-Ga₂O₃エピタキシャル薄膜のSTEM観察

STEM observation of hetero epitaxial β-Ga₂O₃ film on diamond (111) substrates

著者 (10件)： 御園樹 (九大) ,  MYLO VALAPPIL Sreenath (九大) ,  WANG Y. (九大) ,  池上悠登 (九大) ,  GAO H. (九大 超顕微) ,  根北翔 (九大) ,  ZKRIA Abdelrahman (九大) ,  楢木野宏 (九大) ,  片宗優貴 (九州工大 工) ,  吉武剛 (九大)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)  (Abstract Book. Asian Applied Physics Conference (Web))
巻： 50  ページ： 43 (WEB ONLY)  発行年： 2024年12月07日 
JST資料番号： U0757A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *基板 ,  *酸化ガリウム ,  エピタキシャル膜 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶粒界 ,  *界面構造
準シソーラス用語： STEM【顕微鏡】 ,  RFマグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： ダイヤモンド ,  成膜 ,  β-Ga2O3 ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  STEM ,  観察