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J-GLOBAL ID：202502230939980920   整理番号：25A3110382

フォトリソグラフィによるモノリシックマイクロ薄膜ロボットの作製技術の基礎検討

著者 (4件)： 坂上仁 (九大) ,  石田佳洋 (九大) ,  林健司 (九大) ,  佐々文洋 (九大)
資料名： 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM)  (日本ロボット学会学術講演会(CD-ROM))
巻： 43rd  ページ： ROMBUNNO.1L1-02  発行年： 2025年 
JST資料番号： L4867A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・医療機器としてのマイクロロボットに多くの関心が集まっているが,本研究においては,その製造コストの高さに着目し,電子機器製造技術の応用で製造可能なモノリシックマイクロフィルムロボットを検討。
・提案方法に適した材料として感光性ネガ型エポキシレジストを選定し,銅と組合せた基材をフォトリソグラフィによって成形し,電圧印加による駆動実験を行なったところ,所期の動作を得ることができたことを確認。

シソーラス用語： *マイクロロボット ,  レジスト ,  *フォトリソグラフィー ,  *膜 ,  *アクチュエータ ,  電気加熱
準シソーラス用語： フィルム ,  電熱

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： フォトリソグラフィ ,  マイクロ ,  薄膜 ,  ロボット ,  作製 ,  基礎