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J-GLOBAL ID：202502236990426810   整理番号：25A0224389

原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作

Manufacturing and evaluation technology for mass production of MEMS gas cells of atomic clocks

著者 (10件)： 原基揚 (情報通信研究機構) ,  清瀬俊 (京大) ,  島田弥力 (東洋紡エムシー) ,  小田切雄介 (ネオアーク) ,  平井義和 (京大) ,  波多野智 (ネオアーク) ,  福岡政大 (情報通信研究機構) ,  矢野雄一郎 (情報通信研究機構) ,  五箇繁善 (東京都大) ,  井戸哲也 (情報通信研究機構)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 41st  ページ： ROMBUNNO.25P2-M-1  発行年： 2024年11月18日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・あらゆるユーザデバイスに搭載可能な超小型原子時計の実現に向けて,MEMSガスセルの量産化を目指した新しい製造・評価技術を提案。
・インクジェット技術をベースにRbN₃を滴下・析出固化する技術を開発し,ウェハー上に量および滴下形状を精緻に制御してRbN₃パターン生成する技術を解説。
・結言として,試作したMEMSガスセルを用いたデスクトップ型テストベンチによる評価の結果,広範囲の平均化時間に渡る周波数安定度の改善を確認したことを指摘。

シソーラス用語： *原子時計 ,  *MEMS ,  *アジド ,  周波数安定度 ,  検査 ,  噴流 ,  ルビジウム ,  *測時機
準シソーラス用語： インクジェット ,  テストベンチ ,  *ルビジウムアジド

分類 (2件)： エネルギー貯蔵  (LC02000F) ,  その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子時計 ,  MEMS ,  セル ,  量産 ,  評価 ,  提案 ,  試作