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J-GLOBAL ID：202502249693022813   整理番号：25A3040825

逆設計による高Q-SiNフォトニック結晶L6/5共振器の作製と評価

Fabrication and Evaluation of an Inverse-Designed High-Q SiN Photonic Crystal L6/5 Cavity

著者 (15件)： 滝口雅人 (NTT ナノフォトニクスセ) ,  滝口雅人 (NTT 物性研) ,  LIM X. Z. (NTT ナノフォトニクスセ) ,  LIM X. Z. (NTT 物性研) ,  HEIDT P. (NTT ナノフォトニクスセ) ,  HEIDT P. (NTT 物性研) ,  相原卓磨 (NTT ナノフォトニクスセ) ,  相原卓磨 (NTT 先デ研) ,  柳本宗達 (NTT ナノフォトニクスセ) ,  柳本宗達 (NTT 物性研) ,  角倉久史 (NTT ナノフォトニクスセ) ,  角倉久史 (NTT 物性研) ,  納富雅也 (NTT ナノフォトニクスセ) ,  納富雅也 (NTT 物性研) ,  納富雅也 (科大 理)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM))
巻： 86th  ページ： ROMBUNNO.10p-N221-2  発行年： 2025年 
JST資料番号： Y0054C  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： Q値 ,  *一窒化一ケイ素 ,  フォトニック結晶 ,  *フォトニック結晶共振器 ,  光閉込め ,  体積 ,  通気孔 ,  電場 ,  導波路 ,  *光透過スペクトル ,  プラズマCVD ,  振動モード ,  設計
準シソーラス用語： 逆設計

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 設計 ,  SiN ,  フォトニック結晶 ,  共振器 ,  作製 ,  評価