RFマグネトロンスパッタリング法によるMoS<sub>2</sub>薄膜の結晶性と熱伝導率の関係

北澤辰也; 稲葉雄大; 山下俊介; 今井慎也; 黒原啓太; 辰巳哲也; 若林整; 冨谷茂隆; 冨谷茂隆; 冨谷茂隆

文献

J-GLOBAL ID：202502260029602911 整理番号：25A2923027

RFマグネトロンスパッタリング法によるMoS₂薄膜の結晶性と熱伝導率の関係

The relationship between the crystallinity and thermal conductivity of MoS₂ thin films produced by RF magnetron sputtering.

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巻： 72nd ページ： ROMBUNNO.15a-K301-1 発行年： 2025年
JST資料番号： Y0054C ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造 , その他の無機化合物の電気伝導

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RFマグネトロンスパッタリング法によるMoS2薄膜の結晶性と熱伝導率の関係

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