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J-GLOBAL ID：200902129406882173   整理番号：94A0294714

特集/負イオンビーム技術とその物性応用 負イオン注入による絶縁電極の帯電電位測定

Special Number/Negative-Ion Beam Technology and Its Application to Materials Science. Surface Potential Measurement of Insulated Electrode by Negative-Ion Implantation.

著者 (6件)： 辻博司 (京大 工) ,  酒井滋樹 (日新電機) ,  豊田啓孝 (京大 工) ,  岡山芳央 (京大 工) ,  後藤康仁 (京大 工) ,  石川順三 (京大 工)
資料名： Ionics  (Ionics)
巻： 20  号： 1  ページ： 57-64  発行年： 1994年01月 
JST資料番号： F0043B  ISSN： 0388-659X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 負イオン注入による絶縁性Si電極の表面電位の変化を調べた。負...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 負イオンビーム ,  物性 ,  応用 ,  イオン注入 ,  絶縁 ,  帯電 ,  電位測定